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首頁 / 參觀資訊 / 2023 參展商產品 / 白光干涉位移厚度感測器

白光干涉位移厚度感測器

產品型號：interferoMETER 5400 / 5420

產品分類：關鍵零組件

廠商名稱：台灣米銥有限公司

攤位號碼：K1008

產品特色

Micro-Epsilon的創新型白光干涉儀為高精度距離和厚度測量樹立了標杆。這些傳感器能夠以亞納米分辨率實現穩定的測量結果，並且具有相對較大的測量範圍和基本距離。干涉儀分為3個系列：用於高精度工業距離測量的IMS5400-DS，用於精確厚度測量的IMS5400-TH和用於以皮米計分辨率進行距離測量的兼容真空的IMS5600-DS。
我們也即將在展會期間正式發表新產品 IMS5420系列，全世界第一款可以單邊測量晶圓(highly doped)厚度的白光干涉儀!

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